超声辅助对二氧化硅溶胶－凝胶及其减反膜性能的影响＊
田永涛１，２
，蔡志端１，苍利民１，江冰洁１，阎　韬１，万志刚１
（１　河南安彩高科股份有限公司博士后工作站，安阳４５５０００；２　郑州大学物理工程学院
材料物理教育部重点实验室，郑州４５００５２
）摘要  采用提拉法涂膜，以正硅酸乙酯、乙醇等为原料制备了二氧化硅减反溶胶。溶胶在陈化４天后超声振荡，其薄膜透过率增量可达４．７５％。溶胶放置３０天镀膜后增透效果仍超过４％。未经超声振荡处理的溶胶，其薄膜透过率相对较低，且３０天内其膜增透效果随陈化时间的延长逐渐增加。结果表明，超声辅助有助于缩短陈化时间，延缓溶胶的凝胶过程。
关键词  减反　ＳｉＯ２溶胶　陈化时间　超声振荡中图分类号：ＴＢ３２１    　文献标识码：Ａ
Ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　Ａｇｉｔａｔｉｏｎ　ｏｎ　Ｐｒｏｐ
ｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｔｈｅ　ＳｉｌｉｃａＳｏｌ　ａｎｄ　Ｉｔｓ　Ａｎｔｉ－ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ　Ｃｏａｔｉｎｇ
ＴＩＡＮ　Ｙｏｎｇｔａｏ１，
２，ＣＡＩ　Ｚｈｉｄｕａｎ１，ＣＡＮＧ　Ｌｉｍｉｎ１，ＪＩＡＮＧ　Ｂｉｎｇｊ
陈好老公刘海峰年龄ｉｅ１
，ＹＡＮ　Ｔａｏ１，ＷＡＮ　Ｚｈｉｇａｎｇ
１（１　Ｐｏｓｔ－ｄｏｃｔｏｒａｌ　Ｃｅｎｔｅｒ，Ｈｅｎａｎ　Ａｎｃａｉ　Ｈｉｇｈ－ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｃｏ．，Ｌｔｄ，Ａｎｙａｎｇ　４５５０００；２　Ｍｉｎｉｓｔｒｙ　ｏｆ　ＥｄｕｃａｔｉｏｎＬａｂｏｒａｔｏｒｙ　ｏｆ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｓｃｈｏｏｌ　ｏｆ　Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ　４５００５２）Ａｂｓｔｒａｃｔ  Ｔｈｅ　ｓｉｌｉｃａ　ｓｏｌ　ｗａｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｆｒｏｍ　ｔｅｔｒａｅｔｈｙｌｏｒｔｈｏｓｉｌｉｃａｔｅ（ＴＥＯＳ），ｅｔｈａｎｏｌ，ｄｅｎｉｚｅｄ　Ｈ２Ｏ　ａｎｄ　ＮＨ３·Ｈ２Ｏ．Ｔｈｅ　ａｎｔｉ－ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｗａｓ　ｆｏｒｍｅｄ　ｂｙ　ｄｉｐ－ｃｏａｔｉｎｇ　ｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ　ｗａｓ　ｕｓｅｄ　ｆｏｒ　３０ｍｉｎ，ａｆ－ｔｅｒ　ｔｈｅ　ＳｉＯ２ｗａｓ　ａｇｅｄ　ｆｏｒ　４ｄａｙｓ．Ｆｏｒ　ｔｈｅ　４ｄａｙｓ　ａｇｅｄ　ｓｏｌ　ａｆｔｅｒ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏ
ｎ，ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ　ｏｆ　ｆｉｌｍ　ｗａｓ４．７５％．Ｔｈｅ　ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ　ｏｆ　ｆｉｌｍ　ｗａｓ　ｈｉｇｈｅｒ　ｔｈａｎ　４％ａｆｔｅｒ　ｔｈｅ　ｓｏｌ　ｗａｓ　ｓｔｏｒｅｄ　ｆｏｒ　３０ｄａｙｓ．Ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｆｉｌｍｗｉｔｈｏｕｔ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ，ｔｈｅ　ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ　ｗａｓ　ｌｏｗｅｒ　ａｎｄ　ｉｎｃｒｅａｓｅｄ　ｗｉｔｈ　ａｇｉｎｇ　ｔｉｍｅ，ｕｐ　ｔｏ　ａ　ｍａｘｉｍｕｍｉｎ　３０ｄａｙｓ．Ｔｈｅ　ｒｅｓｕｌｔｓ　ｓｈｏｗ　ｔｈａｔ　ｔｈｅ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ　ｃｏｕｌｄ　ｓｈｏｒｔｅｎ　ｔｈｅ　ｓｏｌ　ａｇｉｎｇ　ｔｉｍｅ　ａｎｄ　ｄｅｌａｙ　
ｇｅｌａｔｉｏｎ　ｐｒｏｃｅｓｓ．Ｋｅｙ　
ｗｏｒｄｓ  ａｎｔｉ－ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ，ＳｉＯ２ｓｏｌ，ａｇｉｎｇ　ｔｉｍｅ，ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ　＊国家自然科学基金（
１１１０４２５３；１１０７４２２４）　田永涛：男，副教授，硕士生导师，研究方向为低维材料及其性能　Ｅ－ｍａｉｌ：ｔｉａｎｙ
ｔａｏ＠ｓｉｎａ．ｃｏｍ０　引言
减反膜（也叫增透膜）在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位，被广泛应用于光学设备、太阳能电池、激光系统
等领域［１，２］
。１９８６年Ｔｈｏｍａｓ等发现氨催化的正硅酸乙酯水
解得到的ＳｉＯ２溶胶，胶体颗粒为球形，直径为几十纳米，制备的薄膜由球形颗粒堆积而成，结构多孔，孔隙率可达５７％，折射率约为１．２２，可对玻璃实现单层膜增透，因此ＳｉＯ２减反膜制备、折射率的调控等研究成为减反膜领域的一个重要方
希林娜依高向［
３，４］
。同时溶胶－凝胶法镀膜因具有制作成本低、涂膜简单、便于大面积成膜、产品光学性能好和容易清理等优点而受到
人们的广泛关注［５，６］
。采用溶胶－凝胶法制备的ＳｉＯ２减反射膜也成为提高太阳能电池转换效率的有效途径之一［
７，８］
。通常以正硅酸乙酯（ＴＥＯＳ）为原料，在酸或碱催化下，经水解、缩聚反应制备ＳｉＯ２溶胶。林健
［９］
对酸、碱催化机理做
了研究。碱性催化所得溶胶，胶体颗粒为球形［
１０－１３］
。Ｓ．Ｔａｂａｔａｂａｅｉ等研究了碱性催化条件下，
慢灵魂不同溶剂对胶体粒子形成的影响［１４］
。对于酸催化条件下制备的ＳｉＯ２薄膜，工艺参数对薄膜的影响已有大量报道［１５－１７］
，研究表明ｐＨ值、
反应温度、ｎ（Ｈ２Ｏ）／ｎ（ＴＥＯＳ
）比值等参数对薄膜性能均有较大的影响。相关报道也详细研究了ＴＥＯＳ水解条件、
溶胶陈化时间对ＳｉＯ２薄膜性能的影响
［１８］
，其中陈化时间是影响其性能的最重要的因素之一，它直接影响溶胶体系中缩聚反应的
进程［
１９］
。本实验在ＳｉＯ２溶胶陈化过程中，通过超声辅助缩短溶胶陈化时间并提高减反膜透过性能。
１　实验
ＳｉＯ２溶胶同样以正硅酸乙酯（
高纯）、乙醇（分析纯）、去离子水和氨水（分析纯，ＮＨ３含量２５％）为原料。所得溶胶密闭保存，陈化４天。将ＳｉＯ２溶胶等量分为２份，一份超声振荡３０ｍｉｎ，密封保存室温陈化；另一份直接密封室温陈化。２份ＳｉＯ２溶胶分别经不同陈化时间后镀膜。
实验采用提拉法镀膜，以洁净压延玻璃（安彩高科股份
·８６１·材料导报  ２
０１３年１１月第２７卷专辑２２
有限公司）为衬底。镀膜样品在室温下固化。提拉过程中，速度分别为１００ｍｍ／ｍｉｎ、１４０ｍｍ／ｍｉｎ、１６０ｍｍ／ｍｉｎ、１８０ｍｍ
／ｍｉｎ、２００ｍｍ／ｍｉｎ、２２０ｍｍ／ｍｉｎ、２４０ｍｍ／ｍｉｎ、３００ｍｍ／ｍｉｎ
，以选取得到最佳透过率的提拉速度。采用奥博泰科技有限公司ＰＩＤ０５２００２－ＧＳＴ２气浮台式光谱透射比测量系统测试薄膜透过率，该系统在可见光波长范围（３８０～７８０ｎｍ）
根据ＧＢ／Ｔ２６８０－
９４定义了一个平均透过率。２　结果与讨论
ＳｉＯ２溶胶陈化４天后提拉镀膜，样品透射率增量随波长变化的曲线如图１所示。实验过程中，透过率增加量较高的提拉速度为１６０ｍｍ／ｍｉｎ和１８０ｍｍ／ｍｉｎ，平均透过率增量分别为２．６５％和２．４８％
。
图１　未超声振荡ＳｉＯ２溶胶陈化４天１
６０ｍｍ／ｍｉｎ（ａ）和１８０ｍｍ／ｍｉｎ（ｂ）提拉镀膜样品的透过率增量Ｆｉｇ．１　Ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓａｍｐｌｅｓ　ｂｙ　ｔｈｅ　ｏｐｔｉｍａｌ　ｓｐｅｅｄ　ｏｆ１６０ｍｍ／ｍｉｎ（ａ）ａｎｄ　１８０ｍｍ／ｍｉｎ（ｂ）ｆｒｏｍ　ＳｉＯ２ｓ
ｏｌａｆｔｅｒ　ａｇｉｎｇ　ｔｉｍｅ　ｏｆ　４ｄａｙｓ　ｗｉｔｈｏｕｔ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ取陈化４天，超声振荡３０ｍｉｎ的ＳｉＯ２溶胶镀膜，样品透射率增量
随波长变化的曲线如图２所示。实验过程中，透过率增加量较高的提拉速度仍然为１６０ｍｍ／ｍｉｎ和１８０ｍｍ／ｍｉｎ，平均透过率增加量分别为４．３５％和４．７５％
。
图２　经超声振荡ＳｉＯ２溶胶陈化４天１
fx组合krystal
６０ｍｍ／ｍｉｎ（ａ）和１８０ｍｍ／ｍｉｎ（ｂ
）提拉镀膜样品的透过率增量Ｆｉｇ．２　Ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓａｍｐｌｅｓ　ｂｙ　
ｔｈｅ　ｏｐｔｉｍａｌ　ｓｐｅｅｄ　ｏｆ１６０ｍｍ／ｍｉｎ（ａ）ａｎｄ　１８０ｍｍ／ｍｉｎ（ｂ）ｆｒｏｍ　ＳｉＯ２ｓ
ｏｌ　ａｆｔｅｒａｇｉｎｇ　ｔｉｍｅ　ｏｆ　４ｄａｙｓ　ｗｉｔｈ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ对比发现，超声振荡后，薄膜的增透效果明显提高。为进一步分析超声振荡产生的影响，将２份镀膜液分别陈化不同时间后镀膜。
取未经超声振荡直接密封陈化的ＳｉＯ２溶胶，陈化４天、２０天、３０天、３７天的样品分别镀膜，
透射率增量随波长变化的曲线如图３所示。陈化４天样品透过率较高的提拉速度为１６０ｍｍ／ｍｉｎ和１８０ｍｍ／ｍｉｎ
，平均透过率增量分别为２．６５％和２．４８％；陈化２０天和３０天样品透过率较高的提拉速度为１００ｍｍ／ｍｉｎ和１４０ｍｍ／ｍｉｎ，对应的平均透过率增量分别为３．２８％和２．７９％（２０天），４．０８％和３．６１％（３０天）；陈化３７天样品透过率较高的提拉速度为５０ｍｍ／ｍｉｎ和
８０ｍｍ／ｍｉｎ，平均透过率增量分别为３．６６％和３．２６％
。
图３　未超声振荡ＳｉＯ２溶胶不同陈化时间下
镀膜样品的透过率增量
Ｆｉｇ．３　Ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓａｍｐｌｅｓ　ｆｒｏｍ　ＳｉＯ２ｓ
冯绍峰林允ｏｌ　ａｆｔｅｒｔｈｅ　ａｇｉｎｇ　
ｔｉｍｅ　ｏｆ　４ｄａｙｓ，２０ｄａｙｓ，３０ｄａｙｓ　ａｎｄ　３７ｄａｙｓｗｉｔｈｏｕｔ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ　ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ
取超声振荡３０ｍｉｎ的ＳｉＯ２溶胶，陈化４天、２０天、３０天、３７天的样品分别镀膜，透射率增量随波长变化的曲线如图４所示。其中陈化４天、２０天、３０天的样品透过率增加较高的提拉速度为１６０ｍｍ／ｍｉｎ和１８０ｍｍ／ｍｉｎ
，对应的平均透过率增加量分别为４．３５％和４．７５％（４天），４．１３％和３．７７％（２０天），４．３２和３．９９％（３０天）；陈化３７天的样品透
过率增加较高的提拉速度则变为１００ｍｍ／ｍｉｎ和１４０ｍｍ／ｍｉｎ，对应的平均透过率增加量分别为４．３４％和４．０８％。
由图３可知，未经超声振荡的样品适当延长陈化时间可显著提高膜层减反性能。其原因是：（１）
陈化时间直接影响溶胶粒子的大小。ＳｉＯ２膜层要起到较好的减反效果，
需要较高孔隙率［３］
，充分的陈化时间能使水解缩聚反应充分进行，
形成合适尺寸的溶胶粒子，提高薄膜孔隙率。（２）陈化时间影响溶胶的粘度。溶胶在初期粘度较低，簇团的粒度也很小，
膜层的增透效果不明显；随着陈化时间的延长，溶胶的粘度变化趋于平缓，簇团的粒度也逐渐增大，所制得的膜层减
反效果较好［
６］
。对比图３和图４可知，超声振荡处理可缩短ＳｉＯ２溶胶陈化时间。振荡后陈化４天的溶胶其增透率已经达到４．３５％
·
９６１·超声辅助对二氧化硅溶胶－凝胶及其减反膜性能的影响／田永涛等
和４．７５％，未振荡的溶胶陈化了３０天其增透率才达到４．０８％和３．６１％。超声振荡处理还可以提高溶胶的稳定性，经振荡处理的溶胶对应的最佳提拉速度数值下降较慢。陈化４天的溶胶对应的最佳提拉速度均为１６０ｍｍ／ｍｉｎ和１８０
ｍｍ／ｍｉｎ，未振荡的ＳｉＯ２溶胶陈化２０天对应速度降为１００ｍｍ／ｍｉｎ和１４０ｍｍ／ｍｉｎ，陈化３７天对应速度已降为５０ｍｍ／ｍｉｎ和８０ｍｍ／ｍｉｎ；而振荡后的ＳｉＯ２溶胶陈化３０天对应的最佳提拉速度仍保持１６０ｍｍ／ｍｉｎ和１８０ｍｍ／ｍｉｎ
，陈化３７天后下降为１００ｍｍ／ｍｉｎ和１４０ｍｍ／ｍｉｎ
。图４　ＳｉＯ２溶胶不同陈化时间下经超声振荡处理后
镀膜样品透过率增量
Ｆｉｇ．４　Ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓａｍｐｌｅｓ　ｆｒｏｍ　ＳｉＯ２ｓ
ｏｌ　ａｆｔｅｒｔｈｅ　ａｇｉｎｇ　
ｔｉｍｅ　ｏｆ　４ｄａｙｓ，２０ｄａｙｓ，３０ｄａｙｓ　ａｎｄ　３７ｄａｙｓｗｉｔｈ　ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｇｉｔａｔｉｏｎ　ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ
３　结论
ＳｉＯ２溶胶水解缩聚反应过程中，适当的超声辅助有助于缩短陈化时间。未经超声振荡的溶胶，需陈化３０天后镀膜的增透率相对最佳，可达４．０８％；经超声振荡的溶胶，陈化４天后，镀膜的增透率即可达４．７５％。同时适当的超声辅助，可延缓溶胶的凝胶过程，经超声振荡的溶胶，放置３０天镀膜后增透效果仍超过４％。超声辅助可获得性能较稳定的ＳｉＯ２溶胶，从而获得增透性能较好的增透膜。
参考文献
１　张家斌，
付秀华，贺才美．可见与近红外增透膜的设计和制备［Ｊ］．激光与红外，２００９，３９（５）：５２８２　晏良宏，
匙芳廷，蒋晓东，等．疏水疏油二氧化硅增透膜的制备［Ｊ］．无机材料学报，２００７，２２（６）：１２４７
３　Ｔｈｏｍａｓ　Ｉ　Ｍ．Ｈｉｇｈ　ｌａｓｅｒ　ｄａｍａｇｅ　ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ　ｐ
ｏｒｏｕｓ　ｓｉｌｉｃａ　ａｎ－ｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ　ｃｏａｔｉｎｇ［Ｊ］．Ａｐｐｌ　Ｏｐｔ，１９８６，２５：１４８１４　Ｓｅｍｏｎ　Ｐ　Ａ，Ｖｏｎｇ　Ｗ　Ｍ　Ｓ，Ｂａｚｉｎ　Ｎ，ｅｔ　ａｌ．Ｒｅｃｅｎｔ　ｄｅｖｅｌｏｐ
－ｍｅｎｔｓ　ｉｎ　ｓｉｌｉｃａ　ｓｏｌ－ｇ
ｅｌ　ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ（ＡＲ）ｃｏａｔｉｎｇｓ［Ｊ］．ＰｒｏｃＳＰＩＥ　１９９５，２６３３：４６４５　陈娟，蒋继富，赵宗彦，等．纳米多孔ＳｉＯ２功能薄膜制备方
法的研究进展［Ｊ］．材料导报，２００７，２１（专辑Ⅷ）：５８６　马永新，
周友苏，万春平．溶胶－凝胶法二氧化硅增透膜的制备与研究［Ｊ］．航天器环境工程，２００８，２５（３）：２９８７　付甜，
吴广明，沈军，等．溶胶－凝胶法制备宽带减反膜［Ｊ］．功能材料，２００３，３４（５）：５７９８　Ｓｈｅｎ　Ｊｕｎ，Ｘｉｅ　Ｚｈｉｙｏｎｇ，Ｗｕ　Ｘｉａｏｘｉａｎ，ｅｔ　ａｌ．Ｓｏｌ－ｇ
ｅｌ　ｄｅｒｉｖｅｄＳｉＯ２ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ（ＡＲ）ｃｏａｔｉｎｇ　
ｕｓｅｄ　ｉｎ　ｓｏｌａｒ　ｃｅｌｌ［Ｊ］．ＲａｒｅＭｅｔ　Ｍａｔｅｒ　Ｅｎｇ
，２００８，３７（Ｓ２）：４７９　林健．催化剂对正硅酸乙酯水解－聚合机理的影响［Ｊ］．
无机材料学报，１９９７，１２（３）：３６３１０Ｉｂｉｓａｔｅ　Ｍ，Ｚｏｕ　Ｚ，ｅｔ　ａｌ．Ａｒｒｅｓｔｉｎｇ，ｆｉｘｉｎｇ，ａｎｄ　ｓｅｐａｒａｔｉｎｇ
周渝民女友ｄｉｍｅｒｓ　ｃｏｍｐｏｓｅｄ　ｏｆ　ｕｎｉｆｏｒｍ　ｓｉｌｉｃａ　ｃｏｌｌｏｉｄａｌ　ｓｐｈｅｒｅｓ［Ｊ］．ＡｄｖＦｕｎｃｔ　
Ｍａｔｅｒ，２００６，１６：１６２７１１Ｓｔ ｂｅｒ　Ｗ，Ｆｉｎｋ　Ａ，Ｂｏｈｎ　Ｅ．Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　ｇ
ｒｏｗｔｈ　ｏｆ　ｍｏｎｏｄｉｓ－ｐ
ｅｒｓｅｄ　ｓｐｈｅｒｅｓ　ｉｎ　ｔｈｅ　ｍｉｃｒｏｎ　ｓｉｚｅ　ｒａｎｇｅ［Ｊ］．Ｊ　Ｃｏｌｌｏｉｄ　ＩｎｔｅｒｆＳｃｉ，１９６８，２６：６２
１２Ｂｏｇｕｓｈ　Ｇ　Ｈ，Ｔｒａｃｙ　
Ｍ　Ａ，Ｚｕｋｏｓｋｉ　Ｃ　Ｆ．Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｏｆｍｏｎｏｄｉｓｐｅｒｓｅ　ｓｉｌｉｃａ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ：Ｃｏｎｔｒｏｌ　ｏｆ　ｓｉｚｅ　ａｎｄ　ｍａｓｓ　ｆｒａｃ－ｔｉｏｎ［Ｊ］．Ｊ　Ｎｏｎ－Ｃｒｙ
ｓｔ　Ｓｏｌｉｄｓ，１９８８，１０４：９５１３Ｇｉｅｓｃｈｅ　Ｈ．Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　ｇｒｏｗｔｈ　ｒｅａｃｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ　ｐ
ｒｏ－ｄｕｃｔｉｏｎ　ｐｒｏｃｅｓｓ［Ｊ］．Ｊ　Ｅｕｒ　Ｃｅｒａｍ　Ｓｏｃ，１９９４，１４：２０５１４Ｔａｂａｔａｂａｅｉ　Ｓ，Ｓｈｕｋｏｈｆａｒ　Ａ，Ａｇ
ｈａｂａｂａｚａｄｅｈ　Ｒ，ｅｔ　ａｌ．Ｅｘ－ｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ　ｓｔｕｄｙ　
ｏｆ　ｔｈｅ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ａｎｄ　ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｓｉｌ
ｉ－ｃａ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｖｉａ　ｔｈｅ　ｓｏｌ－ｇｅｌ　ｍｅｔｈｏｄ［Ｊ］．Ｊ　Ｐｈｙｓ　Ｃｏｎｆｅ－ｒｅｎｃｅ　
Ｓｅｒｉｅｓ，２００６，２６：３７１１５Ｇｌａｓｅｒ　Ｐ　Ｍ，Ｐａｎｔａｎｏ　Ｃ　Ｇ．Ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｈ２Ｏ／ＴＥＯＳ　
ｒａｔｉｏｕｐ
ｏｎ　ｔｈｅ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｎｉｔｒｉｄａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｓｉｌｉｃａ　ｓｏｌ／ｇｅｌ　ｆｉｌｍｓ［Ｊ］．Ｊ　Ｎｏｎ－Ｃｒｙｓｔ　Ｓｏｌｉｄｓ，１９８４，６３：２０９１６Ｙｏｌｄａｓ　Ｂ　Ｅ．Ｐｒｏｃｅｓｓ　ｉｎｄｕｃｅｄ　ｖａｒｉａｔｉｏｎｓ　ｉｎ　ｓｏｌ－ｇ
ｅｌ　ｄｅｒｉｖｅｄｏｘｉｄｅ　ｃｏａｔｉｎｇｓ［Ｊ］．Ｐｒｏｃ　ＳＰＩＥ，１９９０，１３２８：２９６１７Ｙｏｌｄａｓ　Ｂ　Ｅ．Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｃｏａｔｉｎｇ
ｓｆｒｏｍ　ｐｏｌｙｍｅｒｉｚｅｄ　ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ［Ｊ］．Ａｐｐｌ　Ｏｐｔ，１９８２，２１（１６）：２９６０
１８熊华山，陈宁，张清华，等．Ｓｏｌ－ｇｅｌ制备ＳｉＯ２增透膜的研
究［Ｊ］．功能材料，２００４，３５（４）：４８５
１９刘会娟．
溶胶－凝胶法制备有机硅掺杂的有机无机复合疏水性减反射膜的研究［Ｊ］．光学技术，２００３，３３（２）：３０８
·０７１·材料导报  ２
０１３年１１月第２７卷专辑２２