范星光专利名称：一种谐振增强型光探测器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：牛慧娟，陈南光，白成林，范鑫烨，房文敬，于传洋申请号：CN202010619122.4
申请日：20200630
公开号：CN111816717A
公开日：
20201023
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明实施例提供一种谐振增强型光探测器及其制备方法，谐振增强型光探测器包括：由下至上依次形成的第一亚波长光栅层、衬底、第一接触层、吸收层、第二接触层、光栅间隔层以及第二亚波长光栅层，所述第一接触层和所述第二接触层上分别形成有n型接触电极和p型接触电极。该光探测器具有高量子效率、高响应带宽、偏振敏感、可实现角度偏转、制作工艺简单的优点。
申请人：聊城大学
地址：252000 山东省聊城市湖南路1号聊城大学综合实验楼
国籍：CN
代理机构：北京路浩知识产权代理有限公司
代理人：程琛
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